การประดิษฐ์อุปกรณ์ตรวจวัดความชื้นจากอนุภาคนาโนและวัสดุประกอบโดยเทคนิคการพ่นด้วยไฟฟ้าสถิต

บทคัดย่อ

งานวิจัยนี้เป็ นสร้างเซนเซอร์วัดความชื้นจากฟิ ล์มบางของอนุภาคนาโนเงินและ อนุภาคนาโนซิ งค์ออกไซด์ โดยจะเตรียมด้วยระบบการพ่นด้วยไฟฟ้ าสถิต ฟิ ล์มบางถูกเตรียมขึ้นบนฐานรองรับที่เป็ น กระจกเพื่อศึกษาเงื่อนไขในการปลูกฟิ ล์ม โดยเงื่อนไขของการเตรียมฟิ ล์มบาง ได้แก่ ระยะห่างระหว่าง ปลายเข็มกับฐานรองรับ เวลาในการเตรี ยมฟิ ล์มบางและความเข้มของสนามไฟฟ้ า ตามลําดับ ทําการ ตรวจสอบวิเคราะห์สมบัติทางโครงสร้างด้วยเทคนิคการเลี้ยวเบนรังสีเอกซ์ ตรวจสอบลักษณะพื้นผิวด้วย กล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอนแบบเลื่อนกราด กล้องจุลทรรศน์แรงอะตอม ตรวจสอบสมบัติทางแสงด้วย เครื่องสเปกโทรสโคปี ระบบยูวี-วิสีเบิลจากการปลูกฟิ ล์มพบว่าสมบัติทางโครงสร้างของฟิ ล์มบางของ อนุภาคนาโนเงินที่เตรียมได้มีสมบัติความเป็ นผลึกบนระนาบ (100), (200), (311) และ (222) มียอดของ การเลี้ยวเบนที่มุม 2? = 38.2, 44.3, 64.4และ77.4องศา สําหรับฟิ ล์มบางอนุภาคนาโนซิงค์ออกไซด์จะมี โครงสร้างผลึกที่มีลักษณะแบบเฮกซะโกนนอลลมียอดการเลี้ยวเบนที่มุม 2? = 31.8, 34.5, 36.3, 47.6 และ 56.7 องศาซึ่งตรงกับระนาบเลี้ยวเบนที่ (100), (002), (101), (102) และ (110) ตามลําดับ เมื่อนําฟิ ล์ม ที่ได้ไปสร้างเป็ นอุปกรณ์ เซนเซอร์วัดความชื้นสร้างขึ้นโดยการเตรียมฟิ ล์มบางบนขั้วไฟฟ้ าแบบอินเตอร์ ดิจิท จากการตรวจสอบสมบัติเฉพาะของเซนเซอร์ความชื้นที่สร้างจากฟิล์มบางอนุภาคนาโนเงินที่ค่า ความชื้น 93%RH มีค่าความต้านทานเชิงซ้อนเท่ากับ10.3 กิโลโอห์ม สภาพความไว 1.84x105 Ohm/%RH และมีค่าฮิสเทอรีซีสอยู่ที่ 8 %RH เวลาในการดูดซับและคายความชื้นเท่ากับ 4 และ 2 วินาที ตามลําดับ สําหรับเซนเซอร์ความชื้นที่สร้างจากฟิ ล์มบางอนุภาคนาโนซิงค์ออกไซด์ พบว่าค่าเป็ นเชิงเส้นระหว่างค่า ความชื้นและค่าความต้านทานเชิงซ้อนมีค่าที่ดี คําสําคัญ : การปลูกฟิ ล์มบางโดยวิธีการพ่นด้วยไฟฟ้ าสถิต, ฟิ ล์มบางอนุภาคนาโน, สิ่งประดิษฐ์ตรวจวัดความชื้น

คำสำคัญ