การเตรียมโลหะออกไซด์โครงสร้างระดับนาโนสำหรับการประยุกต์ใช้เป็นหัววัด

บทคัดย่อ

ในงานวิจัยนี้ได้ทำการวิจัยเป็น 2 ส่วน โดยในส่วนแรกทำการศึกษาการเตรียม ทังสเตนไตรออกไซด์โครงสร้างระดับนาโนด้วยเทคนิคการเคลือบมุมต่ำโดยวิธีการเคลือบแบบรีแอค ทีพแมกนีตรอนสปัตเตอริง โดยการศึกษาคุณสมบัติทางกายภาพและสมบัติการตรวจวัดก๊าซเอทานอล ของฟิล์มบางทังสเตนไตรออกไซด์ที่เตรียมโดยเงื่อนไขการเอียงมุมแผ่นรองรับที่ 09, 459,609, 70 และ 850 พบว่าโครงสร้างผลึกของฟิล์มบางทั้งสเตนไตรออกไซด์แสดงโครงสร้างอสัญฐานทุกมุมของ การเคลือบ เมื่ออบฟิล์มบางทั้งสเตนไตรออกไซด์ ด้วยอุณหภูมิ 300 %C พบว่าฟิล์บางทั้งสเตนไตร ออกไซด์ มีการจัดเรียงตัวโครงสร้างผลึกเกิดขึ้น และมีลักษณะผิวเป็นโครงสร้างผลีกรูปแท่งเพิ่มมาก ขึ้นที่มุมการเคลือบเพิ่มขึ้นจาก 09 ถึง 85 โดยแสดงลักษณะผิวเป็นโครงสร้างผลึกรูปแท่งที่ดีที่มุม การเคลือบ 859 สำหรับสมบัติการตรวจวัดก๊าซเอทานอล พบว่าฟิล์มบางทั้งสเตนไตรออกไซด์เป็น การกึ่งตัวนำชนิดพี เนื่องจากมีความต้านทานเพิ่มขึ้นเมื่ออยู่ในบรรยากาศของเอทานอลซึ่งเป็นก๊าซ รีดิวซ์ และความไวในการตรวจวัดก๊าซเอทานอลจะมีคำเพิ่มขึ้นที่มุมการเคลือบเพิ่มขึ้นจาก 09 ถึง 859 โดยฟิล์มบางทั้งสเตนไตรออกไซด์ที่มุมการเคลือบ 859 สามารถตรวจวัดก๊าซเอทานอลได้ต่ำถึง 5 ppm ที่อุณหภูมการวัด 2009C ในส่วนที่ 2 ได้ทำการศึกษาการเตรียมทินออกไซด์โครงสร้างระดับนาโนด้วยเทคนิค การเคลือบมุมต่ำโดยวิธีการเคลือบแบบรีแอคทีพแมกนีตรอนสปัตเตอริง โดยการศึกษาคุณสมบัติทาง กายภาพและสมบัติการตรวจวัดก๊าซไนโตรเจนไดออกไซด์ของฟิล์มบางทินออกไซด์ที่เตรียมโดย เงื่อนไขการเอียงมุมแผ่นรองรับ 879 และไม่เอียงมุมแผ่นรองรับ และอบฟิล์มที่อุณหภูมิ 300%C และ 400%C พบว่าฟิล์มบางทินออกไซด์มีโครงสร้างผลึกโครงสร้างผลึกของทินออกไซด์ เฟส tetraponal จากการวิเคราะห์สมบัติพื้นผิว พบว่าฟิล์มบางทินออกไซด์ที่เตรียมโดยการเอียงมุมแผ่นรองรับ 87 แสดงลักษณะเป็นโครงผลึกรูปแท่งระดับนาโน สำหรับสมบัติการตรวจวัดก๊าซไนโตรเจนไดออกไซด์ที่ อุณหภูมิการตรวจวัด 60 C 809C 100 C 150 C 200 C และ250 C พบว่าฟิล์มบางทินออกไซด์ เป็นการกึ่งตัวนำชนิดเอ็น เนื่องจากมีความต้านทานเพิ่มขึ้นเมื่ออยู่ในบรรยากาศของก๊าซไนโตรเจนได ออกไซด์ซึ่งเป็นก๊าซออกชีไดซ์ และฟิล์มบางทินออกไซด์โครงสร้างแบบแท่งนาโนสามารถตรวจวัดก๊าซไนโตรเจนไดออกไซด์ได้ดีกว่าฟิล์มบางทินออกไซด์ โดยมีการตอบสนองต่อก๊าซไนโตรเจนไดออกไซด์ สูงสุดที่อุณหภูมิตรวจวัด 1509C และสามารถตรวจวัดก๊าซไนโตรเจนไดออกไซต์ได้ต่ำถึง 0.1 ppm รวมทั้งมีค่าความไว้ในการตรวจวัดประมาณ 5.9 นาที และช่วงเวลาคืนตัวประมาณ 2.6 นาที

คำสำคัญ