การพัฒนาเครื่องกัดผิวชิ้นงานภายใต้ความดันสุญญากาศโดยใช้ไมโครเวฟพลาสมาสำหรับผลิตอุปกรณ์เครื่องกำเนิดไฟฟ้าจากความร้อนเทอร์โมอิเล็คตริก

บทคัดย่อ

งานวิจัยนี้มีวัตถุประสงค์เพื่อพัฒนากระบวนการเคลือบชั้นโลหะบางเพื่อทำหน้าที่เป็นขั้ว อิเล็คโทรดและทำหน้าที่เป็นตัวเร่งในการสังเคราะห์ท่อนาโนคาร์บอนเพื่อประดิษฐ์อุปกรณ์เครื่อง กำเนิดไฟฟ้ าจากความร้อนเทอร์โมอิเล็คตริกในอนาคต ชุดเคลือบชั้นโลหะบางถูกพัฒนาขึ้นใน งานวิจัยนี้โดยวิธี ดีซี แมกนีตรอน สปัตเตอริ่ง ทำการทดลองเคลือบโลหะของ ทองแดง ภายใต้ ความดันสุญญากาศที่ 235 ปาสคาล ใช้ศักย์ไฟฟ้า -400 โวลต์ ควบคุมกระแสไฟฟ้าที่ 300 มิลลิแอมป์ ทำการเคลือบเป็นเวลา 6 นาที ได้ฟิล์มบางของทองแดงหนา 250 นาโนเมตรบนวัสดุ ซิลิกอน ทำการตรวจสอบโดยภาพถ่ายด้านข้างด้วยกล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอนแบบส่องกราด สำหรับการสังเคราะห์ท่อนาโนคาร์บอนในงานวิจัยนี้ได้ประกอบชุดปลูกท่อนาโนคาร์บอนแบบตก สะสมไอเชิงเคมีขึ้นใช้เอง ก่อนทำการปลูกท่อนาโนคาร์บอนบนผิวซิลิกอนได้ทำการเคลือบ โลหะทองแดง เหล็ก และนิเกิลเพื่อทำหน้าที่เป็นตัวเร่งปฏิกิริยา ภายใต้การเคลือบเงื่อนไขเดียวกัน คือ เวลาเคลือบ 2 นาที ที่ความดันสุญญากาศ 235 ปาสคาล ศักย์ไฟฟ้า -400 โวลต์และกระแสไฟฟ้า 300 มิลลิแอมป์ ทำการสังเคราะห์ท่อนาโนคาร์บอนภายใต้ความดันสุญญากาศที่ 1,600 ปาสคาล โดยใช้เอทานอลเป็นแหล่งคาร์บอน ทำการปลูกเป็นเวลา 10 นาที ที่อุณหภูมิ 800?C ท่อนาโน คาร์บอนที่สังเคราะห์ได้เป็ นแบบผนังหลายชั้นที่มีขนาดเส้นผ่านศูนย์กลางของท่อประมาณ 100-200 นาโนเมตร โดยนิเกิลเป็นโลหะเร่งปฏิกิริยาที่ให้จำนวนท่อที่หนาแน่นที่สุดและมีลักษณะ เป็ นเส้นตรงในแนวตั้งทำการตรวจสอบพันธะเคมีที่ประกอบรวมกันเป็ นท่อนาโนด้วยรามาน สเปกโตรสโกปี

คำสำคัญ