กำลังโหลดข้อมูล…
Search for a command to run...
โครงการวิจัยนี้มีวัตถุประสงค์เพื่อปรับปรุงระบบเคลือบฟิล์มบางที่มีอยู่เดิมให้เป็นเครื่องต้นแบบระดับกึ่งอุตสาหกรรมสำหรับการวิจัยและพัฒนาด้านเทคโนโลยีการเคลือบผิวขั้นสูง โดยระบบเคลือบผิวด้วยไอเชิงกายภาพหรือระบบพีวีดีได้ถูกออกแบบให้มีฟังก์ชันการทำงานที่หลากหลายเพื่อแก้ปัญหาเครื่องประดับที่มีการหมองคล้ำ การหลุดลอกของผิวชุบโลหะและเพิ่มอายุการใช้งาน โดยอาศัยการเคลือบผิววัสดุประเภทโลหะออกไซด์ เช่น TiO2 และ Al2O3 ซึ่งเป็นวัสดุสำหรับการสาธิตในการตรวจสอบการทำงานของระบบพีวีดี ส่วนประกอบที่สำคัญของระบบพีวีดี ได้แก่ ชุดแมกนีตรอนสปัตเตอริงร่วมกับลำไอออน ชุดระเหยสารด้วยลำ และชุดตรวจสอบความหนาของฟิล์ม ผลการดำเนินงานในส่วนที่ได้ปรับปรุงและพัฒนาแล้ว ได้แก่ การปรับปรุงส่วนปั๊มสุญญากาศ (turbo molecular pump) ส่วนควบคุมการทำงานแบบอัตโนมัติ (PLC), ส่วนให้ความร้อน (heater) และ ชุดควบคุมการหมุนชิ้นงานพร้อมอุปกรณ์จับยึด ชุดแมกนีตรอนสปัตเตอริงร่วมกับลำไอออนพร้อมแหล่งจ่ายไฟฟ้าแบบดีซี พัลล์ดีซี และอาร์เอฟแมกนีตรอนสปัตเตอริง ได้ถูกติดตั้งเข้ากับห้องสุญญากาศของระบบพีวีดี ผลการทดสอบการทำความดันสุญญากาศ, การควบคุมอัตโนมัติผ่าน PLC, การหมุนชิ้นงาน, การใช้ความร้อน สามารถทำงานได้อย่างมีเสถียรภาพ โดยระบบสุญญากาศสามารถทำความดันได้ที่ 1.6 x 10-4 Pa ใช้เวลาเพียง 1 ชั่วโมง ควบคุมแบบอัตโนโมติผ่าน PLC สถานะปัจจุบันของโครงการอยู่ระหว่างการทดลองเพื่อหาเงื่อนไขที่เหมาะสมในการเคลือบฟิล์มออกไซด์ของ TiO2 และ Al2O3 โดยค้นหาปัจจัยที่สำคัญ ได้แก่ กำลังไฟฟ้า อัตราส่วนก๊าซอาร์กอนและออกซิเจน อุณหภูมิ และความหนาที่เหมาะสม
เป้าหมายเมื่อจบโครงการ: 1 — 1. Basic principles observed and reported