บทความวิจัยพ.ศ. 2563
Growth of Aluminium Nitride Thin Film using Pulse-Modulated Rf Magnetron Sputtering Plasma
Universiti Tun Hussein Onn Malaysia พ.ศ. 2563
คำสำคัญ
AIN thin filmseffect of distanceeffect of frequencypulse sputteringtarget to distance