บทความวิจัยพ.ศ. 2563Fabrication of w-AlN Thin Films using Tilted Sputter Target and Unrotated Substrate Holder พ.ศ. 2563 ติดต่อนักวิจัยแชร์ บันทึกเข้าสู่ระบบเพื่อบันทึกคำสำคัญmagnetron sputteringc-axis AlNhexagonal wurtzite phase AlNsubstrate rotationงานวิจัยในหัวข้อใกล้เคียงGrowth of Aluminium Nitride Thin Film using Pulse-Modulated Rf Magnetron Sputtering Plasma Universiti Tun Hussein Onn Malaysia พ.ศ. 2563Fabrication of Au Nanoparticles Decorated WO3 Nanorods by Magnetron Sputtering พ.ศ. 2561Preparation of aluminum doped zinc oxide targets and RF magnetron sputter thin films with various aluminum doping concentrations พ.ศ. 2561Effect of Sputtering Power on the Structure of DC Magnetron Sputtered Vanadium Nitride Thin Filmsนิรันดร์ วิทิตอนันต์ มหาวิทยาลัยบูรพา พ.ศ. 2560