บทความวิจัยพ.ศ. 2563
Effect of discharge power on the properties of gan thin films on aln-(002) prepared by magnetron sputtering deposition
Universiti Tun Hussein Onn Malaysia พ.ศ. 2563
คำสำคัญ
AlN Thin FilmBlue LEDGaN thin filmMagnetron Sputtering Plasma