บทความวิจัยพ.ศ. 2561
EFFECT OF NITROGEN FLOW RATE ON STRUCTURE OF TiCrN THIN FILMS PREPARED FROM MOSAIC TARGET BY REACTIVE DC UNBALANCED MAGNETRON SPUTTERING
นิรันดร์ วิทิตอนันต์ มหาวิทยาลัยบูรพา พ.ศ. 2561
ชื่อผู้แต่งข้างต้นเป็นข้อความจากระเบียนผลงาน ไม่ได้ผูกกับรหัสนักวิจัย จึงกดดูผลงานอื่นของบุคคลนี้ไม่ได้ — ในคลังนี้ 142,080 ผลงาน (63.6% ของทั้งหมด) มีชื่อผู้แต่งที่เชื่อมกับหน้าผู้แต่งได้ และ 60,298 ผลงาน (27.0%) มีผู้แต่งที่ผูกกับรหัสนักวิจัยจริง ส่วนอีก 81,382 ผลงานไม่มีข้อมูลผู้แต่งเลย (มีชื่อผู้แต่งเป็นข้อความอยู่ 142,009 ผลงาน = 63.5%)
คำสำคัญ
Thin filmsTiCrNMosaic targetNitrogen flow rateReactive sputtering