การศึกษาผลของฟิล์มซิลิกอนไดออกไซด์ชั้นล่างต่อผลึกเจอร์เมเนียมที่ปลูก โดยกระบวนการเหนี่ยวนำให้เกิดผลึกด้วยอะลูมิเนียมแบบสลับชั้น

บทคัดย่อ

งานวิจัยนี้ศึกษาผลของการเผาที่มีต่อโครงสร้างของผลึกซิลิกอน (c-Si) ลักษณะพื้นผิว ขนาดของเกรน และโครงสร้างของฟิล์มซิลิกอนด้วยกล้องจุลทรรศน์ กล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอนแบบส่องกราด การเลี้ยวเบนของรังสีเอ็กซ์ และรามานสเปกโตรสโคป์ ผลการวิจัยพบว่าฟิล์มบางที่เผาด้วยอุณหภูมิ 360 องศาเซลเซียส จะมีผลึกซิลิกอน มีขนาด 54 นาโนเมตร ระนาบของผลึก (111)

คำสำคัญ