การสร้างชั้นฟิล์มป้องกันการสะท้อนและป้องกันการเกิดฝ้าบนกระจกด้วย แท่งนาโนซิลิกอนไดออกไซด์ที่เตรียมด้วยวิธีการระเหยสารด้วยลำอิเล็กตรอน

บทคัดย่อ

ชั้นฟิล์มป้องกันการสะท้อนและป้องกันการเกิดฝ้าที่พัฒนาจากวัสดุซิลิกอนไดออกไซด์กาลังเป็นที่ สนใจในการพัฒนาอย่างมากทั้งในด้านงานวิจัยและอุตสาหกรรมต่างๆเช่น การเคลือบเชิงแสง จอแสดงผล และ โฟโตโวลทาอิกซ์ ซึ่งในปัจจุบันการทาโครงสร้างนาโนซิลิกอนไดออกไซด์ฟิล์มบนแผ่นกระจกที่มีขนาดใหญ่ กาลังได้รับความสนใจอย่างมาก โดยในโครงการนี้จะทาการเคลือบชั้นฟิล์มโครงสร้างนาโนซิลิกอนไดออกไซด์ ด้วยกระบวนการเคลือบโดยไอเชิงฟิสิกส์ร่วมกับเทคนิคการเคลือบแบบเอียงมุมและหมุนแผ่นรองรับ ทาการศึกษาลักษณะของโครงสร้างนาโนแบบแท่งเอียง แบบแท่งตั้งตรง และแบบฟิล์มบาง ที่ส่งผลต่อสมบัติ ทางแสงและสมบัติการชอบน้า วิเคราะห์ลักษณะทางกายภาพด้วยกล้องจุลทรรศน์แรงอะตอมและกล้อง จุลทรรศน์อิเล็กตรอนแบบส่องกราด วิเคราะห์ค่าการส่องผ่านแสงด้วยเครื่องสเปกโตรโฟโตมิเตอร์และเครื่องวัด มุมสัมผัสระหว่างหยดน้ากับแผ่นรองรับ จากผลการวิเคราะห์ค่าการส่องผ่านแสงที่มุมตกกระทบตั้งแต่ 0 ถึง 45 องศา พบว่าโครงสร้างนาโนแบบแท่งเอียงและตั้งตรงสามารถเพิ่มประสิทธิภาพการส่องผ่านแสงได้เมื่อเทียบ กับชั้นฟิล์มบางซิลิกอนไดออกไซด์และกระจกสไลด์ นอกจากนี้โครงสร้างแบบแท่งนาโนตั้งตรง ซิลิกอนไดออกไซด์แสดงสมบัติการป้องกันการสะท้อนและการชอบน้าแบบยิ่งยวดซึ่งสามารถนาไปประยุกต์ใช้ เป็นกระจกป้องกันกันการเกิดฝ้าได้ คาสาคัญ : กระบวนการเคลือบโดยไอเชิงฟิสิกส์/ ซิลิกอนไดออกไซด์ / สมบัติป้องกันการเกิดฝ้า/สมบัติ ป้องกันการสะท้อน/โครงสร้างนาโน

คำสำคัญ