การพัฒนาขั้วไฟฟ้าเพชรสำหรับแหล่งกำเนิดโอโซนแบบแยกสารละลายด้วยไฟฟ้า

บทคัดย่อ

รายงานฉบับนี้ทำการศึกษาและพัฒนาขั้วไฟฟ้าเพชรสำหรับแหล่งกำเนิดโอโซนแบบแบบแยก สารละลายด้วยไฟฟ้า โดยใช้ฟิล์มเพชรที่สังเคราะห์ด้วยกระบวนการ CVD แบบลวดความร้อน ที่เติมอะตอม สารเจือโบรอน บนฐานรองซิลิคอนควบคุมเงื่อนไขให้ได้ความหนา 6 ไมโครเมตร มีการควบคุมพื้นที่ฟิล์ม เพชร โดยเทคนิดการใช้ชั้นซิลิคอนไดออกไซค์เป็นหน้ากากป้องกันการเกิดเพชร ทำการวิเคราะห์ผิวหน้า ฟิล์มเพชรและความหมาด้วยเครื่อง SE.M คุณลักษณะโครงสร้างผลึกด้วยเครื่อง XRD วิเคราะห์คุณภาพฟิล์ม เพชรด้วยเครื่อง Raman Spectroscopy ศึกษาคุณสมบัติทางไฟฟ้าของฟิล์มโดยใช้ Four-point probe วัดสภาพ ด้านทานไฟฟ้าและใช้เทคนิค Hall Ettect หาความหนาแน่นพาหะ เมื่อทำการทดลองขั้วไฟฟ้าเพชรแบบแยก สารละลายด้วยไฟฟ้าในสารละลาย I M H.SO. พบว่าเมื่อใช้ขั้วไฟฟ้าเพรที่มีสารเจือโบรอนเพิ่มขึ้น ความ หนาแน่นของกระแสไฟฟ้ามีค่าเพิ่มขึ้น เมื่อทำการทดลองขั้วไฟฟ้าเพชร ในระบบแขกสารละลายด้วยไฟฟ้า แบบสารละลายไหลต่อเนื่อง พบว่าที่สารละลาย 1M H.SO, จะให้ปริมาณความเข้มขั้นโอโชนได้สูงสุด และเมื่อทำการลดอุณหภูมิสารละลาย Electrolyte ทำให้ปริมาณความเข้มข้นโอโซนเพิ่มขึ้น

คำสำคัญ