เทคโนโลยีเซลล์เชื้อเพลิงขนาดเล็กที่ใช้ซิลิคอนและชั้นนาโนพอรัสซิลิคอนเป็นขั้วอิเล็กโตรดและชั้นการแพร่ของก๊าซ

บทคัดย่อ

ในงานวิจัยนี้จะกล่าวถึงกระบวนการสร้างและลักษณะสมบัติทางไฟฟ้าของชั้นรูพรุนใน อุปกรณ์เซลล์เชื้อเพลิงขนาดเล็ก ที่มีจุดเด่นอยู่ที่ สามารถสร้างได้ง่าย สร้างบนเนื้อซิลิคอน ใช้ต้นทุน การหลือที่ต่ำ และสามารถทำนานได้ที่อุลหาภูณีติต้คง จึงมีไหรงทรงหประกอบไปตัว อิเล็กโตรด โดยทำการสร้างขั้นรูพรุนด้วยวิธีการแอโนไดซ์เซชันบนแผ่นซิลิคอน และทำการสร้าง ขั้วอิเล็กโดรดบนชั้นรูพรุน ซึ่งชั้นรูพรุนจะทำหน้าที่เป็นเมมเบรนหรือชั้นการแพร่ของก๊าซ ดังนั้นจึง ได้ทำการทดลองศึกษาการสร้างชั้นรูพรุนด้วยวิธีการแอในไดซ์เซชัน โดยคำนึงถึงผลของความ หนาแน่นกระแสไฟฟ้าที่ใช้ในการสร้างชั้นรูพรุน แล้วทำการทดลองผลต่ออุปกรณ์ พบว่าชั้นรูพรูพรุน ที่ใช้อัดราส่วนสารละลายกรดไฮโครฟกูอออริกต่อเอทานอลเป็น 4:1 โดยปริมาตร เวลา 10 นาที และ ความหนาแน่นกระแสไฟฟ้า 10 mA/cm เหมาะสมที่จะนำไปประยุกต์ใช้ในอุปกรณ์ จากนั้นจึง ทำการศึกษาลักษณะสมบัติกระแสไฟฟ้าของอุปกรณ์ พบว่าชั้นรูพรุนสามารถทำงานที่ความเข้มขัน ของก๊าซไฮโดรเจนต่างๆ กันได้ ซึ่งเหมาะที่จะนำมาพัฒนาสร้างเป็นอุปกรณ์เซลล์เชื้อเพลิงขนาด เล็ก ต่อไป

คำสำคัญ