รายงานฉบับสมบูรณ์พ.ศ. 2559
เซนเซอร์แม่เหล็กโครงสร้างมอสเฟท
เติมพงษ์ เพ็ชรกูล สถาบันเทคโนโลยีพระจอมเกล้าเจ้าคุณทหารลาดกระบัง พ.ศ. 2559 ชื่อผู้แต่งข้างต้นเป็นข้อความจากระเบียนผลงาน ไม่ได้ผูกกับรหัสนักวิจัย จึงกดดูผลงานอื่นของบุคคลนี้ไม่ได้ — ในคลังนี้ 142,080 ผลงาน (63.6% ของทั้งหมด) มีชื่อผู้แต่งที่เชื่อมกับหน้าผู้แต่งได้ และ 60,298 ผลงาน (27.0%) มีผู้แต่งที่ผูกกับรหัสนักวิจัยจริง ส่วนอีก 81,382 ผลงานไม่มีข้อมูลผู้แต่งเลย (มีชื่อผู้แต่งเป็นข้อความอยู่ 142,009 ผลงาน = 63.5%)
บทคัดย่อ
งานวิจัยนี้เป็นการการสร้างตัวตรวจจับสนามแม่เหล็กโดยโครงสร้างมอสเฟท ซึ่งแตกต่างจากแมกเฟททั่วไป
คือโครงสร้างนี้เป็นการน าเอาโครงสร้างมอสเฟทที่ใช้งานโดยปกติมาตรวจจับสนามแม่เหล็กโดยไม่มีการดัดแปลง
โครงสร้างเหมือนแมกเฟททั่วไปที่แยกขั้วเดรนออกเป็นสองส่วนเท่ากัน แต่โครงสร้างนี้อาศัยขั้วเดรน เกท ซอส และ
ซับสเตรท มาใช้ในการตรวจจับสนามแม่เหล็ก โดยสนามแม่เหล็กที่ตรวจจับจะมีทิศทางแนวขนานซึ่งแตกต่างจาก
แมกเฟททั่วไปที่ตรวจจับสนามแม่เหล็กแนวตั้งฉาก หลักการท างานอาศัยการเบี่ยงเบนระหว่างกระแสมอสเฟทกับ
กระแสซับสเรทในขณะได้รับการไบแอสตรงจากแรงลอเรนซ์ที่เกิดจากการเหนี่ยวน าสนามแม่เหล็ก จากการทดลอง
แสดงให้เห็นว่าหลักการท างานดังกล่าวสามารถที่จะน ามาใช้ตรวจจับสนามแม่เหล็กในแนวขนานได้ โดยสามารถ
ตรวจจับได้ทั้งปริมาณและทิศทางสนามแม่เหล็ก ความสัมพันธ์ระหว่างผลแตกต่างระหว่างกระแสมีความเป็นเชิงเส้น
ที่ดี
คำสำคัญ
MOSFETMagnetic sensorSemiconductor deviceอุปกรณ์สารกึ่งตัวนำMicro sensorเซนเซอร์ตรวจจับสนามแม่เหล็กมอสเฟตไมโครเซนเซอร์
งานวิจัยในหัวข้อใกล้เคียง
เซนเซอร์ตรวจจับสนามแม่เหล็กด้วยรอยต่อโลหะ-สารกึ่งตัวนำในโครงสร้าง
เติมพงษ์ เพ็ชรกูล คณะวิศวกรรมศาสตร์ สถาบันเทคโนโลยีพระจอมเกล้าเจ้าคุณทหารลาดกระบัง พ.ศ. 2552 ตัวต้านทานตรวจจับสนามแม่เหล็กแบบแยกกระแส
เติมพงษ์ เพ็ชรกูล สถาบันเทคโนโลยีพระจอมเกล้าเจ้าคุณทหารลาดกระบัง พ.ศ. 2556 การศึกษาการเคลื่อนที่ของแท่งแม่เหล็กผ่านการจัดเรียงแม่เหล็ก แบบฮอลแบ็ค
ธีรถวัลย์ ปานกลาง มหาวิทยาลัยราชภัฏบ้านสมเด็จเจ้าพระยา พ.ศ. 2561 การศึกษาสมบัติทางแม่เหล็กของเซรามิกเฟร์โรอเล็กทริกที่มีเลดเซอร์โคเนตไทท่เนตและแบเรียมไททาเนตเป็นองค์ประกอบหลักโดยการเติมสารที่มีองค์ประกอบของเฟอร์ไรท์
อธิพงศ์ งามจารุโรจน์ มหาวิทยาลัยเชียงใหม่ พ.ศ. 2556 การออกแบบและสร้างแมกนีโตมิเตอร์แบบเกรเดียนท์สลับสำหรับตรวจวัด สมบัติแม่เหล็กของวัสดุนาโน
พงศกร จันทรัตน์ มหาวิทยาลัยเกษตรศาสตร์ พ.ศ. 2556 พื้นฐานของแม่เหล็กขั้วเดี่ยวเชิงทฤษฎี
พิเชฐ วณิชชาพงศ์เจริญ มหาวิทยาลัยนเรศวร พ.ศ. 2559 โครงสร้างช่องว่างแถบแม่เหล็กไฟฟ้าสำหรับประยุกต์ใช้งานสายอากาศไมโครสตริป
ประพันธ์ อานมณี มหาวิทยาลัยเทคโนโลยีราชมงคลรัตนโกสินทร์ พ.ศ. 2555 การเพิ่มสมรรถนะของเครื่องกลแม่เหล็กถาวรด้วยวิธีการออกแบบโครงสร้างที่เหมาะสมร่วมกับการวิเคราะห์ความอ่อนไหวแบบครอบคลุม
พัฒศาสตร์ แสงวงศ์ สำนักงานการวิจัยแห่งชาติ (วช.) พ.ศ. 2566 กล่องกำเนิดสนามแม่เหล็กไฟฟ้าในทรานสเวอร์อิเล็กโทรแมกเนติกส์ ในช่วงความถี่สูงระดับกิกะเฮิรตซ์ (GTEM CELL) สำหรับการสอบเทียบหัววัด และตัวตรวจจับสัญญาณคลื่นแม่เหล็กไฟฟ้า
วิทวัส สิฏฐกุล มหาวิทยาลัยเทคโนโลยีพระจอมเกล้าพระนครเหนือ พ.ศ. 2559 การพัฒนาเทคนิคแบบขนานสำหรับการจำลองการจับอนุภาคแม่เหล็กอย่างอ่อนที่เล็กมาก ๆ ในสนามแม่เหล็กเกรเดียนต์สูง
จันทนา ผ่องเพ็ญศรี (จันทราพรชัย) คณะวิทยาศาสตร์ มหาวิทยาลัยศิลปากร พ.ศ. 2553