เซนเซอร์แม่เหล็กโครงสร้างมอสเฟท

บทคัดย่อ

งานวิจัยนี้เป็นการการสร้างตัวตรวจจับสนามแม่เหล็กโดยโครงสร้างมอสเฟท ซึ่งแตกต่างจากแมกเฟททั่วไป คือโครงสร้างนี้เป็นการน าเอาโครงสร้างมอสเฟทที่ใช้งานโดยปกติมาตรวจจับสนามแม่เหล็กโดยไม่มีการดัดแปลง โครงสร้างเหมือนแมกเฟททั่วไปที่แยกขั้วเดรนออกเป็นสองส่วนเท่ากัน แต่โครงสร้างนี้อาศัยขั้วเดรน เกท ซอส และ ซับสเตรท มาใช้ในการตรวจจับสนามแม่เหล็ก โดยสนามแม่เหล็กที่ตรวจจับจะมีทิศทางแนวขนานซึ่งแตกต่างจาก แมกเฟททั่วไปที่ตรวจจับสนามแม่เหล็กแนวตั้งฉาก หลักการท างานอาศัยการเบี่ยงเบนระหว่างกระแสมอสเฟทกับ กระแสซับสเรทในขณะได้รับการไบแอสตรงจากแรงลอเรนซ์ที่เกิดจากการเหนี่ยวน าสนามแม่เหล็ก จากการทดลอง แสดงให้เห็นว่าหลักการท างานดังกล่าวสามารถที่จะน ามาใช้ตรวจจับสนามแม่เหล็กในแนวขนานได้ โดยสามารถ ตรวจจับได้ทั้งปริมาณและทิศทางสนามแม่เหล็ก ความสัมพันธ์ระหว่างผลแตกต่างระหว่างกระแสมีความเป็นเชิงเส้น ที่ดี

คำสำคัญ