บทความวิจัยพ.ศ. 2562
Silicon nanohole arrays fabricated by electron beam lithography and reactive ion etching
Universiti Teknologi Malaysia พ.ศ. 2562
คำสำคัญ
Reactive ion etchingElectron beam lithographyLitografi alur elektronlubang nano silikonpunaran ion reaktifSilicon nanohole