บทความวิจัยพ.ศ. 2562
Effect of crystallinity and morphology on the electrical properties of Y2O3 thin films prepared by pulsed laser deposition for MOSFET
พ.ศ. 2562
คำสำคัญ
Pulsed laser depositionField effect transistorCrystalline structureHigh-K gate dielectricYttrium oxide