บทความวิจัยพ.ศ. 2556The fabrication of a MEMS-based translational vibratory z-axis gyroscope using DRIE on the surface and anisotropic etching on the backside of the standard SOI wafer พ.ศ. 2556 ติดต่อนักวิจัยแชร์ บันทึกเข้าสู่ระบบเพื่อบันทึกคำสำคัญCoriolis forceAngular movementsMEMS-based translational vibratory z-axis gyroscopeMEMS technologyStandard SOI waferงานวิจัยในหัวข้อใกล้เคียงImprovement of tuning fork gyroscope drive-mode oscillation matched using a differential driving suspension frame พ.ศ. 2559Research on silicon-based planar spiral inductance coil based on MEMS พ.ศ. 2558Application of single MEMS-accelerometer to measure 3-axis vibrations and 2-axis tilt-angle simultaneously พ.ศ. 2558MECHANICAL RESPONSE OF OUTER FRAMES IN TUNINGFORK GYROSCOPE MODEL WITH CONNECTINGDIAMOND-SHAPED FRAME พ.ศ. 2562