บทความวิจัยพ.ศ. 2558
Al microheater and Ni temperature sensor set based-on photolithography with closed-loop control
มหาวิทยาลัยเทคโนโลยีสุรนารี พ.ศ. 2558
คำสำคัญ
MEMSTemperature sensorPhotolithographyClosed-loop controlMicroheater
Search for a command to run...