บทความวิจัยพ.ศ. 2562INVESTIGATION OF COUPLED EFFECTS OF TEMPERATURE AND RELATIVE HUMIDITY ON DYNAMIC PERFORMANCE OF MEMS BEAM RESONATORS IN GAS RAREFACTION พ.ศ. 2562 ติดต่อนักวิจัยแชร์ บันทึกเข้าสู่ระบบเพื่อบันทึกคำสำคัญTemperatureRelative humidityQuality factorgas rarefaction.MEMS resonatorsงานวิจัยในหัวข้อใกล้เคียงImpact of annealing temperature to the performance of hematite-based humidity sensor Universiti Teknologi MARA พ.ศ. 2562EFFECT OF VISCOUS HEAT GENERATION ON TEMPERATURE OF RAREFIED GAS MICROFLOWS DRIVEN BY MOVING SURFACE พ.ศ. 2561Effect of beams structures on dynamic behavior of piezoresistive accelerometer sensors พ.ศ. 2560Simulation of micro-ring resonator using finite-difference time-domain technique for sensors พ.ศ. 2563